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集成电路(IC)制造净化工程标准趋严 厂房设计强调低能耗
 集成电路(IC)制造净化车间是满足半导体制造工艺需求的净化工程，该无尘净化车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD（静电控制）、AMC（气态分子级污染物）控制等都有一定的要求。相对于其他工业无尘净化车间，集成电路净化车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。
集成电路制造对净化车间环境的控制有较为严格的要求。不同的工艺制程对洁净度的要求也各不相同，例如光刻要求在1级的微环境下，而化学机械研磨则只要求1000级的净化车间环境即可。
集成电路洁净车间采用FFU系统的无尘净化车间一般通过FFU的分布率来决定该洁净室的洁净等级，无尘净化车间的正压通过新风量来控制，无尘净化车间温湿度的控制是通过循环空气冷却系统(RCU)和新风空调系统(MAU)完成。
无尘净化室,集成电路净化车间,集成电路无尘洁净车间是东莞市翔泰净化公司服务项目之一,本公司从事的电子, IC集成电路,光学光电等行业无尘净化室工程在珠三角及华南区有大量成功案,
集成电路净化车间扩展名:无尘净化室,集成电路净化车间,集成电路洁净车间,集成电路无尘车间,业务咨询 13825786601田生
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